在光學元件中為了傳輸高性能激光器的高光束能量，激光反射鏡片鍍膜的要求也提出了一個相對高的要求，對于超過17層的光學膜系，我們在生產中一般會使用氣相沉積來加工激光反射鏡。激光反射鏡所用的介質膜材料也是幾乎多是無吸收的材料，并且在某些特定的波長范圍能可以達到反射率99%例如：BK7玻璃、石英系列、單晶硅、鉬等基材。在中小功率的激光束中，多是選擇石英和玻璃基板，同事用鉬和硅作為基板，鉬反射鏡能在條件苛刻的環(huán)境中工作，并且使用壽命長，承受功率高，表面不需鍍膜，耐擦拭，缺點是反射率低。硅反射鏡是目前使用最多的反射鏡，擁有良好的光學熱力性。硅反射鏡表面鍍金鏌，提高反射率，生產的反射鏡在反射鏌層上再加鍍一層保護鏌，使得原有鏡片更耐擦拭從而提高使用壽命。
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